VTC-100PA真空旋轉涂膜機適用于半導體、晶體、光盤、制版等表面涂覆工藝。本機可用于強酸、強堿性涂覆溶液的涂膜制備。
產品分類
VTC-100PA真空旋轉涂膜機
產品概述:
VTC-100PA真空旋轉涂膜機適用于半導體、晶體、光盤、制版等表面涂覆工藝。本機可用于強酸、強堿性涂覆溶液的涂膜制備。
主要特點:
參數:
進氣口:上蓋有一個直徑6mm的進氣口可將需要的氣體通入腔體,實現在氣氛環境下旋轉涂覆
可選加熱部分:上蓋內部增加紅外燈管加熱,采用K型熱偶測溫,數字溫控器控溫,高120℃,可使得樣品涂覆后原位烘干,用于薄膜太陽能電池等研究。
產品規格: